隨著科技的發(fā)展傳統(tǒng)的難熔金屬制備方式成本較高，氣相沉積爐如果將氣體引入到室內(nèi)，室內(nèi)的襯底表面就會(huì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，對(duì)化學(xué)相沉積爐有了全新的要求，氣相沉積爐技術(shù)在鋰電子電池材料也可以應(yīng)用，借助氣相沉積爐本身易重現(xiàn)和覆蓋性等特點(diǎn)，以下是有關(guān)氣相沉積爐的使用：

1、為氣相沉積爐主體內(nèi)有加熱室，水冷電極，測(cè)溫?zé)犭娕?，是處理工件的核心部分?/p>

2、為混氣罐，由1只電動(dòng)蝶閥、2只浮子流量計(jì)和4只不銹鋼手動(dòng)截止閥組成，負(fù)責(zé)氬氣和丙烷的混氣配比，以及向沉積爐內(nèi)定量輸送工作氣體。

3、2臺(tái)滑閥泵負(fù)責(zé)爐內(nèi)空氣及工作廢氣的排除，使?fàn)t子工作在恒定的壓力范圍之內(nèi)。

4、過濾罐2臺(tái)負(fù)責(zé)滑閥泵前級(jí)的粉塵排除。

5、真空電動(dòng)蝶閥2臺(tái)在滑閥泵工作過程中，通過調(diào)節(jié)閥的開度，從而可以調(diào)節(jié)泵的抽速。

6、加熱磁性調(diào)壓器，3臺(tái)獨(dú)立工作，完成爐溫的控制。