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氣相沉積爐在工作時(shí)會(huì)產(chǎn)生含有有害物質(zhì)的尾氣，這些有害物質(zhì)會(huì)對(duì)環(huán)境造成污染。因此，現(xiàn)代氣相沉積爐通常會(huì)配備尾氣過(guò)濾器來(lái)減少尾氣中的有害物質(zhì)。尾氣過(guò)濾器通常包括殼體和濾芯，殼體內(nèi)設(shè)有容置腔，濾芯設(shè)于容置腔內(nèi)。殼體的底部設(shè)有進(jìn)氣管，進(jìn)氣管連通容置腔與尾氣排出管；殼體的頂部設(shè)有排氣管；排氣管連通容置腔。
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